Accurion i4系列主动隔振台如何重新定义精密测量稳定性

突破低频振动隔离瓶颈：Accurion i4系列主动隔振台如何重新定义精密测量稳定性

  高精度测量的隐形挑战——无处不在的振动干扰

在纳米级显微成像、半导体检测、光学精密加工等高精尖领域，设备对环境的敏感度远超想象。即使微米级的振动，也可能导致测量数据失真、工艺良率下降或科研结论偏差。传统被动隔振方案虽能缓解高频振动，却难以应对低频共振这一难题。Accurion欧库睿因i4系列桌面式主动隔振系统的诞生，改写了振动控制的技术逻辑，为超精密测量构筑起防护屏障。

产品核心优势：主动隔振技术解决行业痛点

1. 低频振动隔离的 突破
传统被动隔振台在1Hz以下频段会因共振放大振动能量，而i4系列通过六自由度主动补偿技术，从0.6Hz起即实现振动抑制，在10Hz时隔离效率高达99%（-40dB）。这种"反向消除"机制可实时生成反作用力，直接抵消振动波，而非被动吸收能量。

2. 效率跃升：30秒→0.3秒的稳定时间
得益于全数字控制系统，i4系列将设备稳定时间压缩至0.3秒，较传统气浮台提速100倍。这意味着科研人员每小时可完成更多有效测量，设备利用率提升显著。

3. 全场景适应性设计

• 智能负载匹配：0-120kg宽域承重，兼容显微镜、激光干涉仪等各类精密设备

• 紧凑工业化设计：400×500×90mm超薄机身，轻松集成于现有实验台

• 零气源依赖：220V电源直连，摆脱压缩空气管路束缚

技术亮点解析：六大创新维度构筑技术壁垒

六维主动补偿矩阵
通过XYZ轴平移与旋转的复合控制，精准消除建筑振动、人员走动、设备启停等复杂扰动。

自研MIMO控制算法
采用多输入多输出自适应滤波技术，在0.6-200Hz超宽频带内实现动态振动追踪与抵消。

超刚性主动悬架
1Hz时系统刚度达被动隔振台的30倍，确保载物台位移控制在±2μm以内。

智能工况感知系统
内置加速度传感器阵列实时监测环境振动谱，自动优化控制参数应对突发扰动。

应用场景：从实验室到工业现场的精准守护

科研领域
▸ 原子力显微镜（AFM）纳米级表面形貌测量
▸ 共聚焦显微镜活体细胞动态观测
▸ 量子计算超导电路环境控制

制造
▸ 光刻机晶圆对准系统振动抑制
▸ 精密轴承圆度测量误差修正
▸ 激光直写设备微结构加工

特殊场景
▸ 高层建筑内振动敏感实验
▸ 地铁沿线厂房精密检测工位
▸ 多设备混用车间的振动隔离

技术参数速览